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多晶硅定向凝固炉

多晶硅定向凝固炉

  • 所属分类:真空冶金设备
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  • 发布时间:2022-02-24 21:59:17
  • 产品概述

多晶硅定向凝固炉(简称结晶炉)

多晶硅定向凝固炉


多晶硅定向凝固炉(简称结晶炉)

用于:太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。

主要特点

1、控制精度高,结晶速度可调节

2、采用石墨电阻或感应加热熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快

3、定向凝固保温采用特制加热电源

4、具有三相电流平衡,维护费用低

5、采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线 

6、炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快

主要技术参数

● 熔炼容量: 10-450KG 

● 电源功率:40-450KW   

设计温度:≥1700℃

工作温度:1550℃

升温速率:40℃/Min 

炉温均匀性:±5℃  

极限真空度: 6.67×10-2Pa  

压升率: 0.01PaL/S       

额定充气压力:0.05Mpa     

铸锭方式:坩埚下降/保温桶提升定向凝固 

伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min          

定向凝固速率 :0.01mm-0.5mm/Min        

坩埚快速返回速度:80-100 mm/Min

多晶硅定向凝固炉(简称结晶炉)

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